德國HYDAC賀德克壓力傳感器壓力如何輸出
德國HYDAC賀德克壓力傳感器將壓力(一般指液體或氣體的壓力)轉(zhuǎn)換為電信號輸出,
該壓力電信號也可進(jìn)而用于測量靜態(tài)流體的液位,因此可用來測量液位。
賀德克壓力傳感器的敏感組件主要有硅杯敏感元件、硅油、隔離膜片和導(dǎo)氣管組成,
被測介質(zhì)壓力P通過隔離片和硅油傳遞到硅杯元件的一-側(cè)(見圖) ,大氣參考壓po通過導(dǎo)氣管作用到硅杯元件的另- -
側(cè),硅杯元件是一個底部加工 得很薄的杯形單晶硅片。
杯底膜片在壓力P和Po做用下產(chǎn)生位移極小的彈性變形,單晶硅是理想的彈性體,
變形與壓力成嚴(yán)格的正比關(guān)系,而且復(fù)原性能又好。
硅膜片_上用半導(dǎo)體擴(kuò)散工藝形成的四個橋路電阻布置成方形,當(dāng)硅膜片受到壓力產(chǎn)生變形時,
處于對角線上的二電阻受壓應(yīng)力,而另為二個電阻受張應(yīng)力,由于擴(kuò)散硅的壓阻效應(yīng),
使相對的二個電阻阻值增大,二另為二個電阻阻值減小。
如果在A-A二端上加上電壓,則C-D間就有一個P-Po差壓成正比的電壓信號輸出
德國HYDAC賀德克壓力傳感器如何輸出
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